小型PECVD系統(tǒng)

該型號(hào)PECVD為成儀最新款，綜合了國(guó)內(nèi)大多數(shù)廠家的管式PECVD系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)，觸摸屏集中一鍵控制，實(shí)驗(yàn)證明此結(jié)構(gòu)沉積速度快，成膜質(zhì)量好，針孔較少，不易龜裂。而且控制部分采用了成儀自主研發(fā)的實(shí)驗(yàn)電爐AIO全自動(dòng)智能控制系統(tǒng)，使得操作更加簡(jiǎn)便，功能更加強(qiáng)大。

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技術(shù)參數(shù)

PECVD系統(tǒng)就是為了使傳統(tǒng)的化學(xué)氣象沉積（CVD）反應(yīng)溫度降低，普通CVD設(shè)備的沉積溫度大多在900℃左右，而在普通CVD裝置的前端加入RF射頻感應(yīng)裝置將反應(yīng)氣體電離，形成等離子體，利用等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng)，可以使化學(xué)氣相沉積的溫度降到400℃左右，所以這個(gè)系統(tǒng)稱為增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（PECVD）。

該型號(hào)PECVD為成儀新款，綜合了國(guó)內(nèi)大多數(shù)廠家的管式PECVD系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)，觸摸屏集中一鍵控制，實(shí)驗(yàn)證明此結(jié)構(gòu)沉積速度快，成膜質(zhì)量好，針孔較少，不易龜裂。而且控制部分采用了成儀自主研發(fā)的實(shí)驗(yàn)電爐AIO全自動(dòng)智能控制系統(tǒng)，使得操作更加簡(jiǎn)便，功能更加強(qiáng)大。

主要特點(diǎn)：

管內(nèi)真空度自動(dòng)平衡——管內(nèi)真空度實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，自動(dòng)平衡。PECVD工藝要求石英管內(nèi)真空度通常在0.1～100Pa之間，該型號(hào)PECVD的AIO控制系統(tǒng)會(huì)通過真空泵的自動(dòng)啟停來維持用戶設(shè)定的管內(nèi)真空度，使成膜效果達(dá)更好的均勻性。
AIO控制系統(tǒng)——加熱控制、等離子射頻控制、氣體流量控制、真空系統(tǒng)控制集中于一個(gè)7英寸觸摸屏進(jìn)行統(tǒng)一集中調(diào)節(jié)和操控，協(xié)調(diào)控制——成儀AIO控制系統(tǒng)；
智能氣路通斷——每路氣體均可定時(shí)通斷，自由切換，省時(shí)省力；
射頻功率的定時(shí)控制——預(yù)先設(shè)定好功率的大小和打開與關(guān)閉的時(shí)間，自動(dòng)運(yùn)行；
爐膛移動(dòng)速度可調(diào)——根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求，用戶可設(shè)定爐膛左右移動(dòng)的速度和距離，在沉積結(jié)束后爐膛可自動(dòng)移開沉積區(qū)，使樣品快速冷卻；
整機(jī)結(jié)構(gòu)融為一體——整機(jī)長(zhǎng)度只有1.5米，移動(dòng)方便，避免分散組裝的困擾。

詳細(xì)參數(shù)：

	加熱爐部分
1	爐膛模式	開啟式可移動(dòng)爐膛
2	顯示模式	7英寸觸摸屏
3	極限溫度	1200℃
4	工作溫度	≤1150℃
5	升溫速率	建議10℃/Min Max：30℃/Min
6	爐體移動(dòng)	有，速度可調(diào)
7	單溫區(qū)長(zhǎng)度	主溫區(qū)長(zhǎng)度：200mm（可選配氣體預(yù)熱部分）
8	爐管規(guī)格	60*1150 mm
9	控溫精度	±1℃
10	密封方式	快速法蘭密封
11	溫度曲線	30段"時(shí)間—溫度曲線"任意可設(shè)
12	預(yù)存曲線	可預(yù)存15條溫度曲線
13	超溫報(bào)警	有
14	過流保護(hù)	有
15	斷偶提示	有
16	測(cè)溫元件	K型熱電偶
17	爐膛材料	氧化鋁纖維
18	外形尺寸	15006001000MM
	射頻電源功率
1	信號(hào)頻率	13.56 MHz±0.005%
2	功率輸出范圍	5W-300W
3	功率穩(wěn)定度	±0.1%
4	整機(jī)效率	>=70%
5	功率因素	>=90%
6	冷卻方式	強(qiáng)制風(fēng)冷
	真空部分
1	功率	500W
2	抽氣速率	2L\s
3	極限真空	4X10^-2Pa
	氣路系統(tǒng)
1	1～3路質(zhì)量流量計(jì)可選（七星華創(chuàng)）
2	準(zhǔn)確度：±1.5%
3	重復(fù)精度：±0.2%
4	工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa
	整機(jī)系統(tǒng)特色
1	正壓測(cè)量	-100Kpa---100Kpa
2	真空測(cè)量	10^-2Pa～100Kpa（支持Ar測(cè)量）
3	正壓保護(hù)	支持
4	壓力恒定	支持
5	智能氣路	支持
6	氣路定時(shí)	支持
7	射頻工作時(shí)間設(shè)定	支持
8	移動(dòng)速度調(diào)節(jié)	支持
9	系統(tǒng)最高真空度	4.8×10^-3Pa
10	軟件功能	1：射頻電源開啟時(shí)間，可以設(shè)定，時(shí)間到后自動(dòng)停止射頻電源。 2：自動(dòng)切換氣體功能，不同溫度通入不同氣體，或者根據(jù)要求進(jìn)行定做（選配） 3：自動(dòng)檢測(cè)真空度，根據(jù)真空度的大小，自動(dòng)啟動(dòng)射頻電源。 4：真空泵自動(dòng)啟動(dòng)，根據(jù)真空度，系統(tǒng)自動(dòng)判斷是否需要啟動(dòng)真空泵。 5.超壓保護(hù)。 6.其他功能根據(jù)要求定做

ꄴ前一個(gè)： 1200℃雙溫區(qū)管式爐

ꄲ后一個(gè)：小型RTP快速退火爐

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